特点
结构特点
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单级式减压结构
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膜片与母体采用硬密封形式
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母体接口螺纹：1/4" NPT(F)
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安全压力：1.5 倍的最大输入压力
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适用温度：-40°C ~ 74°C (-40°F ~ 165°F)
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泄漏率：2 x 10-8 atm.cc/sec He
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CV 值：0.14
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重量：0.9 kg (2.0 lbs)
材质
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母体：316L/铜电镀
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阀座：PCTFE, PTFE, Vespel®
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膜片：316L, Hastelloy®
适用范围
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半导体制程
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实验室
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气相分析
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测试仪表
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石油化学工业
流量特性曲线图
订购指南
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EX:
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R21SL
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J
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K -
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D
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Q
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G -
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00 -
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00 -
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R
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系列号
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母体孔
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阀座材料
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输入压力
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输出压力
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压力表
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进气形式
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出气形式
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选项
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R21SL
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A
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K: PCTFE
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C: 4500 psi
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F: 0~500 psi
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W: 不带压力表
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00: 1/4" NPT (F)
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00: 1/4" NPT (F)
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R: 附安全阀
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(316L)
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B
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T: PTFE
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D: 3000 psi
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G: 0~250 psi
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P: psi / bar 表
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C330: CGA330
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10: 1/8" 卡套接头
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N: 附针阀
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D
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V: Vespel®
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E: 1500 psi
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I: 0~100 psi
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G: MPa 表
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C350: CGA350
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11: 1/4" 卡套接头
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D: 附膜片阀
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G
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F: 500 psi
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K: 0~50 psi
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C580: CGA580
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12: 3/8" 卡套接头
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H: Hastelloy®
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J
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L: 0~25 psi
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C660: CGA660
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15: 6 mm 卡套接头
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膜片
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M
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Q: 30" Hg Vac~30 psi
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C590: CGA590
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16: 8 mm 卡套接头
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Q
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S: 30" Hg Vac~100 psi
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52: G5/8" -RH (F)
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74: M8 x 1RH (M)
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T: 30" Hg Vac~200 psi
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63: W21.8-14RH (F)
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其他形式接头
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64: W21.8-14LH (F)
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可供选择
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其他形式接头
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可供选择
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