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重庆定能科技有限公司
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手机:17723970516 陈经理
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产品与解决方案
U53SL系列高纯减压阀
品牌:GENTEC/SYNAIM/FEDICO
型号:
说明:U53系列减压器适用于高纯气体应用,采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计,降低泄漏率,同时提高了安全性和使用寿命。
产品介绍
特点
结构特点:
316L不锈钢母体
膜片式硬密封,泄漏率低
可采用面板安装和后座安装
压力表标准连接:1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)
内部电解抛光
专为高纯净应用生产制造
高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业
使用寿命长
100%氦气测试
材质:
母体:316L, Hastelloy
®
阀座:PCTFE
膜片:Elgiloy
®
, Hastelloy
®
上盖:316, Hastelloy
®
功能特性:
流量:Cv=0.054
母体泄漏率:2×10
-8
atm cc/sec He
阀座泄漏率:4×10
-8
atm cc/sec He
设计验证压力:最大额定压力的150%
设计爆破压力:最大额定压力的400%
工作条件:
最大的入口压力:300 psi (20 bar)
出口压力:0~30 psi (2 bar),
温度:-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道表面:
标准:Ra 20 µin
内部容积:
9.3 cc
流量特性曲线图
订购指南
EX:
U53
SL
B
K -
G
L
P -
91-92 -
P
型号
母体
母体孔
阀座
输入压力
输出压力
压力表
出气
/
出气连接
选项
U53
SL: 316L
A
K: PCTFE
G: 300 psi
L: 0~30 psi
W:
不带压力表
91: 1/4” FSR(F)
旋转螺帽
P:
面板安装
B
P: psi / bar
表
92: 1/4” FSR(M)
旋转螺帽
H: Hastelloy
®
膜片
G
41: 1/2" Tube,
对焊接管
J
母体孔位置