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U53SL系列高纯减压阀

品牌:GENTEC/SYNAIM/FEDICO 型号: 说明:U53系列减压器适用于高纯气体应用,采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计,降低泄漏率,同时提高了安全性和使用寿命。
产品介绍
特点

结构特点:

  • 316L不锈钢母体
  • 膜片式硬密封,泄漏率低
  • 可采用面板安装和后座安装
  • 压力表标准连接:1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)
  • 内部电解抛光
  • 专为高纯净应用生产制造
  • 高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业
  • 使用寿命长
  • 100%氦气测试

材质:

  • 母体:316L, Hastelloy®
  • 阀座:PCTFE
  • 膜片:Elgiloy®,  Hastelloy®
  • 上盖:316, Hastelloy®

功能特性:

  • 流量:Cv=0.054
  • 母体泄漏率:2×10-8 atm cc/sec He
  • 阀座泄漏率:4×10-8 atm cc/sec He
  • 设计验证压力:最大额定压力的150%
  • 设计爆破压力:最大额定压力的400%

工作条件:

  • 最大的入口压力:300 psi (20 bar)
  • 出口压力:0~30 psi (2 bar),
  • 温度:-18℃~60℃ (0°F~140°F)

流道表面:

  • 标准:Ra 20 µin

内部容积:

  • 9.3 cc

 

流量特性曲线图

 

订购指南

EX:
U53 SL B K - G L P - 91-92 - P
型号 母体 母体孔 阀座 输入压力 输出压力 压力表 出气/出气连接 选项
 U53  SL: 316L  A  K: PCTFE  G: 300 psi  L: 0~30 psi  W: 不带压力表  91: 1/4” FSR(F)旋转螺帽  P: 面板安装
 B      P: psi / bar   92: 1/4” FSR(M)旋转螺帽  H: Hastelloy®膜片
 G  41: 1/2" Tube, 对焊接管  
 J    

母体孔位置

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